Минијатурне вакуум пумпе су пумпе које користе гас као примарни радни медијум. Погодни за-дуготрајан рад у празном ходу и рад на суво, они стварају вакуум (негативни притисак) тако што покрећу мембрану за усисавање и пражњење гаса кроз повратно кретање{2}}које покреће мотор. Ови уређаји имају и усисне и издувне млазнице. Специјализовани модели обухватају моделе двоструке-усисне/експанзије и воде/гасне моделе за прилагођавање различитим условима рада.
Основне компоненте укључују мембранску пумпу и контролер вакуума. Типичан производ је Бусцх РА0020Ф (брзина пумпања 20 м³/х, крајњи притисак 0,1 мбар). Технолошки развој се фокусира на минијатуризацију, енергетску ефикасност и интелигенцију, укључујући технологију магнетне левитације, технологију-подмазивања без уља и еколошки прихватљив дизајн. Главне примене укључују медицинску опрему (усисни уређаји, вентилатори), праћење животне средине, производњу полупроводника и нову енергетску индустрију. Предвиђено је да ће величина домаћег тржишта достићи 5 милијарди јуана 2024.